Dalam studi ini telah didesain dan dikonstruksi secara mandiri reaktor Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) dengan tipe ganda untuk penumbuhan material lapisan tipis semikonduktor. Dengan menggunakan reaktor ini, telah berhasil dikembangkan lapisan tipis a-Si:H tipe-i (intrinsik) dengan menggunakan SiH4 sebagai sumber gas. Lapisan tipis a-Si:H yang diperoleh memiliki celah pita optik lebar, yaitu 2,05 eV dan konduktivitas gelap dan terang yang tinggi, yaitu masing-masing 2,04×10-9 dan 3,71×10-4 Scm-1. Lapisan tipis dengan celah pita optik lebar ini diperoleh karena adanya peningkatan kandungan hidrogen dalam lapisan yang berasal dari stretching vibration ikatan Si-H3 seiring dengan peningkatan laju aliran gas SiH4 . Hal ini sesuai dengan hasil konfirmasi dari pengukuran spektrum Fourier Transform Infra-red (FTIR).<\/p>\n
Buku ini pada tahap berikutnya salah satunya untuk mendorong reaktor PECVD ganda masih perlu dikembangkan menjadi separate chamber yang terdiri dari beberapa reaktor yang memungkinkan semua tipe lapisan ditumbuhkan pada reaktor yang berbeda termasuk lapisan tipis a-Si:H paduan agar efek pengotoran oleh atom dopan pada saat deposisi lapisan ekstrinsik dapat dihilangkan<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Buku ini pada tahap berikutnya salah satunya untuk mendorong reaktor PECVD ganda masih perlu dikembangkan menjadi separate chamber yang terdiri dari beberapa reaktor yang memungkinkan semua tipe lapisan ditumbuhkan pada reaktor yang berbeda termasuk lapisan tipis a-Si:H paduan agar efek pengotoran oleh atom dopan pada saat deposisi lapisan ekstrinsik dapat dihilangkan<\/p>\n","protected":false},"featured_media":1298,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":""},"product_cat":[31],"product_tag":[],"class_list":{"0":"post-1297","1":"product","2":"type-product","3":"status-publish","4":"has-post-thumbnail","6":"product_cat-sains","7":"desktop-align-left","8":"tablet-align-left","9":"mobile-align-left","11":"first","12":"instock","13":"shipping-taxable","14":"purchasable","15":"product-type-simple"},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/product\/1297","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=1297"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/media\/1298"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=1297"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fproduct_cat&post=1297"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/literaaksara.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fproduct_tag&post=1297"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}